YF1801場發射掃描電子顯微鏡采用熱場發射電子槍(SchottkyFEG)技術，電子光學鏡筒中融入了優良的全鏡筒加速技術，確保了低加速電壓下電子束優異的成像性能，適用于各類材料的高分辨成像。多種探測器系統，能高效收集從樣品中激發出的的多種電子信號進行成像，可揭示樣品的微觀形貌和結構信息。

YF1801場發射掃描電子顯微鏡產品五大優勢

高分辨能力

完備的信號搜集檢測

流暢友好的使用體驗

多功能集成控制面板

功能強大的分析測試平臺

產品特點

擴展能力優異

交互界面流暢簡潔

用戶界面:

界面布局清晰簡練

人體工學鍵盤設計

配備多種安全互鎖

操作簡捷流暢

產品參數

核心參數

分辨率：15KV 1.0nm（SE）；1KV 1.5nm（SE）

加速電壓：0.02~30KV

放大倍率：1~2000000X

電子槍類型：高亮度肖特基場發射電子槍

物鏡類型：集成靜電透鏡和磁透射的復合物鏡

電子束流：1pA~20nA（100nA選配）

圖像分辨率：256*256~16k*16k

探測器及拓展

標配：樣品室內二次電子探測器；鏡筒內二次電子探測器

選配：背散射電子探測器；掃描透射電子探測器；等離子清洗儀

樣品室

倉庫：內徑340mm，高度260mm；多附件接口，可加裝EBSD、EDS、CL等多種附件

樣品臺：五軸全自動樣品臺；最大樣品重量2.5Kg；X、Y=125mm，Z=50mm，R=360°連續，T=-5~70℃

影像系統：雙攝像頭（光學導航、樣品室內監控）

軟件及圖像處理

語言：中文/英文

操作系統：Windows

自動功能：自動電子槍對中、自動光纜對準/磁帶消除、自動聚焦、自動像散消除、自動亮度對比度等

其他功能：分屏顯示、圖像注釋、圖像測量、圖像混合、大面積圖像采集和拼接、掃描旋轉、傾斜補償等