全自動磁控離子濺射儀是一款注重安全與用戶體驗的多功能濺射儀，具有多重安全防護措施及自動切斷功能，確保操作安全。配備5英寸液晶顯示屏，簡化操作流程，支持自動調(diào)節(jié)真空度與樣品臺高度調(diào)節(jié)，提供直觀的濺射電流和真空度曲線顯示，記錄靶材使用時間及設(shè)備運行狀態(tài)。內(nèi)置操作向?qū)В阌谛率挚焖偕鲜郑m用于各類樣品，特別是溫度敏感材料，能實現(xiàn)高質(zhì)量鍍膜，滿足高分辨率觀測需求。

全自動磁控離子濺射儀特點

一、安全至上
高壓線多重防護；

外殼良好接地；

真空互鎖;

系統(tǒng)自動防護性切斷濺射；

實體按鍵，很安全。

二、注重用戶體驗
5英寸液晶屏，簡潔明了;
可多設(shè)置兩個參數(shù)，即可開始工作；
系統(tǒng)自動調(diào)整真空度，無需人工調(diào)節(jié)針閥;
自動放氣；樣品臺高度可調(diào)節(jié)。

三、信息量大
濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實時顯示，簡單直觀；
靶材使用時間，儀器使用時間系統(tǒng)自動記錄，直觀了解設(shè)備的運行狀態(tài)；

四、快速上手
設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)В诓僮魅藛T更換時，無需培訓(xùn)，即可快速熟練操作設(shè)備；

五、應(yīng)用領(lǐng)域廣
濺射電流與壓力無關(guān)、基本沒有熱損傷，因此適用于所有樣品，尤其是溫度敏感性樣品如生物、聚合物等樣品；工作時真空度好，鍍膜的顆粒度更小，更適用場發(fā)射等高分辨觀測電極制備。